近来,广明第28届华南世界 。源露业自工业自动化。脸华展在深圳世界会议。南世中心。界工隆重开幕。动化广明源(展位 :14号馆1。广明4G。源露业自22)携172nm准分子光使用系列解决计划露脸 ,脸华聚集光清洗 、南世资料活化、界工纯水处理TOC降解等中心工艺环节 ,动化展现国产172nm准分子光源在高端制作制程中的广明技能落地与使用远景 ,招引了很多相关企业、源露业自设备商及技能专家停步观赏与沟通。脸华
热度攀升。
展会首日,广明源展位现场人气高涨。多家企业的研制负责人以及设备 。工程师 。等现场咨询沟通,对172nm准分子光源在要害工艺中的使用表现出浓厚兴趣 ,并环绕不同工艺阶段对设备适配性 、稳定性及量产可行性打开深入探讨 。
破解“卡脖子”。
广明源172nm准分子光源进口代替计划。
现在 ,在高端制作环节中 ,中心光源设备长时刻依靠进口,面对交给周期长、本钱高